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封锁,最好封锁个十年、二十年,到时候我们什么都有了!”
吴牧在资料室里跳脚,钟大华却并没有多说什么,反而转头开始继续工作。
只是他敲击键盘的力度,明显也上升了很多。
工作总是做不完的,没有美国数据库也还有中文数据库和欧洲数据库,甚至很快一些其他国家的公司还找上门来,提供起代查询业务来。
只是正如钟大华所说,这就是个恶心人的态度,只要其他国家还能查询美国数据库,那封锁就毫无意义。
甚至连提供代查询业务的公司都赚不了几个钱,因为只要在中国之外有一台能连接其他国家学术机构的电脑,就能登陆美国数据库。
这样毫无门槛的业务,也就提不起什么价格了。
但这对于此时资料室里的钟大华和吴牧来说,并不能让他们的屈辱感少上多少。
“老钟,我突然有一个想法。”
晚上十一点半,吴牧突然从显示器前抬起头来,顶着两个黑眼圈,愣愣的说道。
“我们得回去,回去原来的路线上。”
“什么?”
钟大华也愣了一下,不明所以:“什么原来的路线?湿法蚀刻?”
“对,湿法蚀刻。”
吴牧重重的点了点头:“你还记得,我们采用湿法蚀刻的时候,最大的麻烦是什么吗?”
“最大的麻烦,湿法蚀刻的各向同性吧,这会造成刻痕很容易就失去精度。”
“对,各向同性。”
各向同性,也就是腐蚀剂在侵蚀材料的过程中,不会因为方向不同而有所变化。
向下侵蚀的同时,腐蚀剂也会向左右侵蚀。
在蚀刻中如果各向异性太好,就会发生把光刻胶遮挡的部分,从左右两侧给侵蚀掉的问题。
本来不需要侵蚀的部分也会被侵蚀,自然精度就无法保证了。
吴牧说到这里,忽然眼睛里多出了一丝神采:“但是你还记得,我们湿法蚀刻如果失败了,最终被光刻胶遮挡的部分,会形成什么样的形状吗?”
响鼓不用重锤,钟大华的脑海里迅速回想起自己经历过的那些失败实验。
各向同性的腐蚀剂向左右侵蚀,最终会在侧面侵蚀出一个坡型,就像一个小水洼一样。
想象一下如果一条光刻胶下面左右有两个“小水洼”
,那它们的中间位置不就是一个针尖了吗?
吴牧兴奋的说道:“如果我们用氢氟酸和硝酸来腐蚀单晶硅,因为这种腐蚀剂的腐蚀速度可以用配比来控制,所以我们就可以通过配比和时间控制,来得到我们希望得到的针尖宽度了!”
“这!”
钟大华呼吸顿时急促起来,他的预感中这应该会是一条可行的路线!
“只是,为了确定腐蚀剂的配比和精确的时间,我们恐怕要大海捞针了!”
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