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第二十一章 真空镀膜下（第2页）

过了两分钟左右，压强终于降至20帕以下，许秋关闭超真空挡板阀，打开分子泵。

分子泵的转速要从0逐渐加速至27000r.p.m.后，它才可以正常工作，约需要耗时10分钟。

待分子泵运转平稳后，许秋打开束源炉挡板，然后启动束源炉的升温控制装置。

装置的屏幕上显示有束源炉当前温度和设定温度，分别为27和30摄氏度。

他打开设定界面。

这块屏幕采用的是计算器上那种“日”

字型的显示方法，主要用于数字显示，所以显示出来的字母都很抽象。

还好都是常用的单词，许秋花了点时间弄明白每个参数的意义后，手动设定升温程序：

SP130

RATE30

TIME60

SP2400

RATE30

TIME3

SP3520

RATE20

TIME100

第一阶段，以30摄氏度每分钟的速率升至30摄氏度，等待60分钟；

第二阶段，以30摄氏度每分钟的速率升至400摄氏度，等待3分钟；

第三阶段，以20摄氏度每分钟的速率升至520摄氏度，等待100分钟。

确认无误后，他长按启动键，启动程序。

升温程序需要跑一个多小时。

在此期间，许秋向学姐请教了真空系统的工作原理。

陈婉清讲解道：“机械泵，最多只能将舱内压强降至零点几帕，必须使用分子泵才能将压强降低至十的负五次方帕这个数量级，从而达到蒸镀实验所需的最低真空度要求。

分子泵只能在低压强下使用。

所以在压强大于20帕时，采用超真空挡板阀，阻隔分子泵和蒸镀舱连接；当压力低于20帕时将其关闭，再使分子泵和蒸镀舱连通。

分子泵启动后，还需要较长的时间，才能使蒸镀舱内压强达到1E-5级别。

这个时间在半小时至一个半小时之间。

如果一个半小时过后仍无法达到这个真空度，通常有两种情况。

一种是体系气密性不好，比如在关舱门时，门缝处夹了一个塑料袋；

另一种情况是舱体内蒸镀残留物过多，需要清理。”

虽然系统里也有影像资料供许秋学习，但他觉得还是听学姐讲解更好一些。

主要是两个人站一起，一直不互动也蛮尴尬的。

……